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抽氣量
抽氣量是真空泵抽速的一個衡量因素。一般單位用L/S和m?span>/h來表示。是彌補漏氣率的參數。不難理解，理論下抽一個相同體積的容器，為什么抽氣量大的真空泵很容易抽到我們所需的真空度，而抽氣量小的真空泵很慢甚至無法抽到我們想要的真空度? 管路或者容器始終不可能做到絕對不漏氣，而抽氣量大的彌補了漏氣所帶來的真空度下降的因素，大氣量的很容易抽到理想真空度值。
真空度
表示處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用壓力值來表示。真空度數值是表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值，從表上表示出來的數值又稱為表壓強，業界也稱為極限相對壓強，實際應用中，真空度通常有絕對真空和相對真空兩種說法。從真空表所讀得的數值稱真空度。真空度=大氣壓強-絕對壓強(大氣壓強一般取101325Pa，水環式真空泵極限絕對壓強3300Pa；旋片式真空泵極限絕對壓強約10Pa)
真 空
理論上是指容積里面不含有任何的物質。（現實中是不存在真正的真空的）通常把容器內氣壓低于正常大氣壓（101325 Pa）的都稱之為真空狀態。
絕對真空與相對真空
極限相對壓強
相對壓強即所測內部壓強比“大氣壓”低多少壓強。表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值。由于容器內部空氣被抽，內部的壓強始終低于容器外部壓強。當用相對壓強或者表壓強表示的時候，數值前面必須帶負號，表示容器內部壓強比外部壓強低。
極限絕對壓強
絕對壓強即所測內部壓強比”理論真空(理論真空壓強值為0Pa)”高多少壓強。它所比較的對象為理論狀態的絕對真空壓強值。由于工藝所限，我們無論如何都不能將內部壓強抽到絕對真空0Pa這個數值，真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當用絕對真空表示時，數值前面無負號。